深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
    
          
 
      

    



    
  
    
               
             
             
    
            
                     
    
                         
                  
                  
                  
                 
    
            
     
            
  
    

    



    
    
 
    
    
        
    
            
            
            
        
    
          
    
    
    

    













    

    
    
    
         
    
           
    
                 
    
                  
                 
    
                   
    
                    聯(lián)系人：劉曙東  
       
                    手　機(jī)：13926558058
    
                    電　話：0755-26028990
    
                    傳　真：0755-26028992
     
                    郵　箱：[email protected]
     
                    網(wǎng)　址：www.gzaian.cn
     
                    地　址：
    深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動(dòng)社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫(xiě)字樓）6I
    
                   
    
                   
               
     
         
    
         
    
         
             
    
               公司動(dòng)態(tài)
               
                
             
    
           
    
              
    英?？瞪漕l傳感技術(shù)：為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航，助力高效生產(chǎn)！
    
              來(lái)源：本站  發(fā)布時(shí)間：2025-03-05 13:11:48  點(diǎn)擊次數(shù)：0
    
    
    
    英?？瞪漕l傳感技術(shù)：為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航，助力高效生產(chǎn)！
    英?？瞪漕l傳感技術(shù)：為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航，助力高效生產(chǎn)！

    隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸的不斷縮小，等離子體工藝中的電弧放電問(wèn)題日益突出。微小的電弧不僅可能損壞設(shè)備，還會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷，甚至造成生產(chǎn)中斷。如何實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體狀態(tài)和晶圓蝕刻程度，快速檢測(cè)電弧并優(yōu)化工藝，成為半導(dǎo)體制造中的一大挑戰(zhàn)。

    英?？瞪漕l傳感技術(shù)提供了強(qiáng)大的解決方案：Sion?射頻探測(cè)器，提供連續(xù)反饋，確保精確的端點(diǎn)檢測(cè)，避免過(guò)度蝕刻和材料浪費(fèi)；ADC100電弧檢測(cè)器，擁有zhuoyue的電弧檢測(cè)技術(shù)，在維護(hù)生產(chǎn)效率的同時(shí)保護(hù)設(shè)備；協(xié)力幫助客戶提升生產(chǎn)效率、減少停機(jī)時(shí)間，并確保產(chǎn)品質(zhì)量。



    Sion?：等離子體工藝的“實(shí)時(shí)衛(wèi)士"
    Sion?是一款非侵入式射頻探測(cè)器，專為高速電弧檢測(cè)和工藝終點(diǎn)控制設(shè)計(jì)。它適用于多種等離子體輔助工藝，如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻工藝，能夠?qū)崟r(shí)檢測(cè)電弧工藝，確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。
    英福康射頻傳感技術(shù)：為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航，助力高效生產(chǎn)！
    Sion?的核心優(yōu)勢(shì)在于：

    實(shí)時(shí)電弧檢測(cè)：以高達(dá)250 kHz的數(shù)據(jù)采集頻率，快速捕捉微電弧事件，防止對(duì)靶材、腔室和基材造成損害。

    非侵入式安裝：采用卡箍式設(shè)計(jì)，可輕松集成到現(xiàn)有工具箱中。

    智能數(shù)據(jù)分析：與FabGuard數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)無(wú)縫集成，提供全面的數(shù)據(jù)管理和分析功能，幫助優(yōu)化工藝參數(shù)。


    ADC100：直流電弧的“高速捕手"
    ADC100同樣是一款非侵入式的高速直流電弧檢測(cè)設(shè)備，通過(guò)連接DC供電系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體中的電弧事件，并在出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)迅速中斷晶圓生產(chǎn)過(guò)程，防止硬件或產(chǎn)品損壞。
    英?？瞪漕l傳感技術(shù)：為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航，助力高效生產(chǎn)！
    ADC100的亮點(diǎn)功能包括：

    高速響應(yīng)：每個(gè)通道的數(shù)據(jù)采集頻率高達(dá)250 kHz，確保對(duì)電弧事件的快速檢測(cè)和響應(yīng)；其內(nèi)配置的預(yù)定義分析工具也能確保檢測(cè)效率。

    終點(diǎn)檢測(cè)功能：不僅能夠檢測(cè)電弧，還能優(yōu)化工藝終點(diǎn)控制，減少過(guò)度蝕刻和材料浪費(fèi)。

    全球技術(shù)支持：英福康提供全球范圍的技術(shù)支持，確保ADC100在不同地區(qū)的應(yīng)用中都能發(fā)揮最佳性能。

    智能數(shù)據(jù)分析：與FabGuard數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)無(wú)縫集成，提供全面的數(shù)據(jù)管理和分析功能，幫助優(yōu)化工藝參數(shù)。