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    從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用,帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥

    來源:本站  發(fā)布時(shí)間:2025-07-14 16:03:43  點(diǎn)擊次數(shù):0


    從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用,帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥

    真空鐘擺閥是一種通過圓形閥板做 “鐘擺式擺動(dòng)" 實(shí)現(xiàn)真空隔離/流量控制的閥門,一般作為大口徑節(jié)流閥安裝在真空腔體和渦輪分子泵入口之間,通常應(yīng)用于FPD、SEMI、Solar和PV行業(yè)的真空鍍膜系統(tǒng)


    從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用,帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥

    鐘擺閥安裝位置-真空泵與工藝腔之間


    目前的鐘擺閥設(shè)計(jì)均采用鍍鎳或硬質(zhì)陽極氧化工藝來防腐蝕和減少灰塵,考慮到擺閥尺寸巨大,閥體大多采用鋁制金屬以減少重量和制造成本,可在氣動(dòng)或APC模式下運(yùn)行,其中APC鐘擺閥可以實(shí)現(xiàn)真空隔離的同時(shí),也能實(shí)現(xiàn)中下游端的精準(zhǔn)壓力控制。


    從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用,帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥
    從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用,帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥

           氣動(dòng)鐘擺閥                      APC壓力控制鐘擺閥

    -日揚(yáng)APC鐘擺-

    ?  設(shè)計(jì)緊湊,振動(dòng)小,啟閉運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)

    ?  抗腐蝕,低粉塵,精準(zhǔn)的壓力控制

    ?  可定制尺寸,最大可達(dá)ISO500

    ?  模塊化設(shè)計(jì),易于拆卸方便維護(hù)

    ?  控制精度可達(dá)最大量程的0.1%

    從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用,帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥
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    APC控制擺閥可以在真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)高效、穩(wěn)定的壓力控制,憑借其低污染、快響應(yīng)、易維護(hù)等特點(diǎn),已成為高精密真空系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。日揚(yáng)已為不同行業(yè)客戶定制研發(fā)多款A(yù)PC鐘擺閥,適配越來越復(fù)雜的真空工藝需求,成功實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)代替。


    從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用,帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥
    從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用,帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥

    —APC鐘擺閥展出現(xiàn)場(chǎng)—