UHV全金屬角閥 | 專為jiduan工況設(shè)計

HTC日揚科技設(shè)計的全金屬角閥適用于超高真空的環(huán)境下（10?? Pa～10?1? Pa），其閥體、閥芯、密封件等均采用金屬結(jié)構(gòu)，密封墊片采用的是可耐大溫差的OFCH無氧銅。所有系列的全金屬閥門都經(jīng)歷過數(shù)百種嚴(yán)苛工藝條件下的各類應(yīng)用，有幾千份成功安裝案例，其zhuoyue可靠性得到充分驗證。

全金屬閥屬于提升錐閥的一種。當(dāng)提升錐被頂至頂端時，閥門內(nèi)部的結(jié)構(gòu)腔氣體流動不受阻礙。一旦提升錐被移動至閥門底部時，金屬密封墊被壓縮，阻絕氣體的流通達(dá)到密封的效果。此類閥門常用于真空排氣系統(tǒng)、高真空應(yīng)用的抽氣系統(tǒng)和半導(dǎo)體技術(shù)與研究系統(tǒng)等。

全金屬角閥在經(jīng)過高溫烘烤和重新閉合后，可能需要增加開關(guān)扭矩以在后續(xù)循環(huán)中實現(xiàn)wanmei密封。當(dāng)超過最大允許開關(guān)扭矩時，需要更換新的OFCH密封墊片，其具體操作方法如下：

HTC全金屬角閥在開啟狀態(tài)下通過400℃，關(guān)閉狀態(tài)下300℃的高溫測試，其密封性能達(dá)標(biāo)。此外，日揚科技還做過可復(fù)現(xiàn)的-196℃極限低溫測試，通過噴涂和浸泡液氮，閥門工作狀況正常，其漏率在性能參數(shù)范圍之內(nèi)。