超高真空全金屬插板閥 | 為大科學(xué)裝置研究而生

HTC日揚(yáng)科技設(shè)計(jì)的全金屬插板閥適用于超高真空的環(huán)境下（10??Pa～10??Pa），采用HTC Disc金屬密封技術(shù)，其壓力范圍一般在UHV~1.2bar(abs)，漏率zui di能做到<1×10?1? mbar?L/s的可靠密封。依據(jù)開(kāi)啟方式不同分為手動(dòng)/氣動(dòng)式，以及是否有shielding射頻屏蔽功能，可實(shí)現(xiàn)耐溫150℃~250℃不等。近年來(lái)在國(guó)內(nèi)的大科學(xué)裝置研究、表面分析和半導(dǎo)體制造項(xiàng)目中，已經(jīng)有許多成功試裝案例，其zhuo yue可靠性得到市場(chǎng)驗(yàn)證。

全金屬插板閥多用于高能物理實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目之中，故有著阻斷射頻信號(hào)泄漏 / 侵入，保障粒子束傳輸穩(wěn)定的需求，于此要求插板閥帶有射頻屏蔽功能。此外，低漏率、耐高溫、高潔凈度、抗輻射、高壽命以及穩(wěn)定可靠是衡量一款全金屬插板閥優(yōu)秀的重要標(biāo)準(zhǔn)，在這方面，日揚(yáng)配合客戶成功研制出CF35、CF63和DF78等型號(hào)的全金屬插板閥，成為為數(shù)不多實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破的國(guó)產(chǎn)廠商。

2020年，日揚(yáng)與SHINE項(xiàng)目合作，在國(guó)內(nèi)硬X射線自由電子激光裝置項(xiàng)目之中，shou ci攻破全金屬插板閥的金屬與金屬間硬密封、高精度定位等關(guān)鍵技術(shù)難題，并且樣機(jī)成功交付，該全金屬高頻屏蔽門閥被安裝在超導(dǎo)加速器電子束流通道中，工作在超高真空、超潔凈、液氦低溫、射頻場(chǎng)和電離輻射復(fù)雜環(huán)境條件下。

此后數(shù)年，日揚(yáng)科技相繼在CF35、CF63等尺寸閥門上獲得突破。依據(jù)客戶不同的實(shí)際環(huán)境需求，其他尺寸也在開(kāi)發(fā)中，并持續(xù)提高性能、優(yōu)化數(shù)據(jù)以真正實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代，為國(guó)內(nèi)的大科學(xué)裝置研究貢獻(xiàn)力量。