深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
    
          
 
      

    



    
  
    
               
             
             
    
            
                     
    
                         
                  
                  
                  
                 
    
            
     
            
  
    

    



    
    
 
    
    
        
    
            
            
            
        
    
          
    
    
    

    













    

    
    
    
         
    
           
    
                 
    
                  
                 
    
                   
    
                    聯(lián)系人：劉曙東  
       
                    手　機(jī)：13926558058
    
                    電　話：0755-26028990
    
                    傳　真：0755-26028992
     
                    郵　箱：[email protected]
     
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                    地　址：
    深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動(dòng)社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫(xiě)字樓）6I
    
                   
    
                   
               
     
         
    
         
    
         
             
    
               公司動(dòng)態(tài)
               
                
             
    
           
    
              
    粉塵問(wèn)題 | 從主機(jī)臺(tái)腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
    
              來(lái)源：本站  發(fā)布時(shí)間：2026-01-13 13:15:49  點(diǎn)擊次數(shù)：0
    
    
    
    粉塵問(wèn)題 | 從主機(jī)臺(tái)腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
    在半導(dǎo)體制造的CVD、ALD、ETCH等等核心制程中，微納米級(jí)粉塵的產(chǎn)生幾乎不可避免。這些粉塵來(lái)自于工藝反應(yīng)的固態(tài)副產(chǎn)物，或者是設(shè)備部件磨損的碎屑，常與腐蝕性氣體混合，看似微小，卻會(huì)引發(fā)全產(chǎn)線的“堵塞危機(jī)"。從主機(jī)臺(tái)腔體、真空管道到尾氣處理系統(tǒng)，都可能成為粉塵堆積的重災(zāi)區(qū)。

    -粉塵堵塞問(wèn)題-
    ? 需要頻繁停機(jī)清潔管路，增加運(yùn)維成本
    ? 常與腐蝕性氣體結(jié)合，加速設(shè)備與零件磨損
    ? 制程腔內(nèi)受到污染，拉低產(chǎn)品良率
    ? 粉塵堆積-設(shè)備磨損-更多粉塵-更頻繁維護(hù)


    全鏈路粉塵問(wèn)題解決方案Total Solution
    CVD/ALD/Dry Etch/EPI等制程設(shè)備
    粉塵問(wèn)題 | 從主機(jī)臺(tái)腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
    ? 真空閥門(mén)、腔體的客制化設(shè)計(jì)與生產(chǎn)
    ? 真空管路設(shè)計(jì)及零配件的全鏈路供應(yīng)
    ? Cyclone/Cold Trap粉塵分離器供應(yīng)
    ? 減少反應(yīng)腔粉塵顆粒污染
    真空泵服務(wù)
    粉塵問(wèn)題 | 從主機(jī)臺(tái)腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
    ? Pump防腐抗粘黏涂層WEH?涂裝
    ? Fore Line管道優(yōu)化涂層WEH?涂裝
    ? 24/7 真空泵閥全天候維修中心
    ? 全新泵/二手泵閥買(mǎi)賣(mài)維修服務(wù)
    真空泵到日揚(yáng)Wet SCR
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    ? 排氣管道工程設(shè)計(jì)與制造安裝
    ? 零部件涂裝防粘防腐涂層WEH?
    ? 微氣泡負(fù)壓型Wet Scrubber減少堵塞
    日揚(yáng)Wet SCR到Burn SCR
    粉塵問(wèn)題 | 從主機(jī)臺(tái)腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
    ? 管道工程設(shè)計(jì)與制造安裝
    ? 管道外節(jié)能加熱帶HIM系統(tǒng)
    ? 管道內(nèi)耐高溫防腐涂層WEH? 
    ? 負(fù)壓增強(qiáng)器P2A-PVC/PTFE,增大吸力
    防堵塞核心：WEH?涂層和Wet SCR設(shè)備
    微氣泡負(fù)壓型濕式除塵器（wet Scrubber）高達(dá)-25kpa吸力可抽取fore line管路的粉塵避免積壓，設(shè)備中高達(dá)95%的粉塵去除率可緩解后端管路堵塞難題，保證Burn SCR的正常運(yùn)行。
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     微氣泡負(fù)壓型Wet SCR
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    解決Dry Pump、Pump Line、Scrubber和排氣主管道的粉塵阻塞問(wèn)題，粉塵去除率高達(dá)95%，延長(zhǎng)PM周期實(shí)現(xiàn)zui you稼動(dòng)率
    —M600型號(hào)Wet SCR介紹—
    —Wet SCR排氣濕度監(jiān)測(cè)—

    WEH?涂層負(fù)責(zé)緩解真空泵以及管路中的粉塵粘黏和腐蝕問(wèn)題，配合加熱帶的使用讓涂層性能更優(yōu)，從已驗(yàn)證的大廠案例中看，普遍能延長(zhǎng)堵塞周期2-40倍，節(jié)省大筆維保費(fèi)用。
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     真空納米涂層WEH?和NFH?
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    該涂層有著良好的疏水性、耐溫性、抗腐蝕性以及高硬度、低粗糙度的優(yōu)點(diǎn)，可以提高零件的使用壽命，降低管道堵塞風(fēng)險(xiǎn)。NFH?為不含氟版本。

    粉塵問(wèn)題 | 從主機(jī)臺(tái)腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案

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