安捷倫TPS泵組簡介230921.pdf

安捷倫TPS系列 渦輪分子泵組系統(tǒng)，配備 Agilent TwisTorr 渦輪 分子泵，并以安捷倫渦旋式干泵或油旋片泵為前級泵。 1、TPS 迷你型 便攜的干式系統(tǒng)具有極小的占地面積，采用新型 TwisTorr 74 FS

2、TPS 緊湊型 TwisTorr 304 FS：最佳真空性能、極短的抽真空時間、集成式 IDP-3 渦旋式干 泵

3、TPS-flexy 組合型 可自行安裝、靈活且可以升級的解決方案 可根據(jù)要求定制不同的配置。

4、TPS 移動型 可移動推車、大容積系統(tǒng)、大抽速范圍。