Cygnus 2.pdf

INFICON Cygnus 2薄膜沉積控制器

Cygnus 2 薄膜沉積控制器

為 OLED 應(yīng)用提供測量精度

Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多獨特的功能，可幫助您實現(xiàn) OLED 過程的最大價值。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業(yè)中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器無與倫比的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過程卓越的可重復性。

功能

• INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得最高、最穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下

• Auto Z 技術(shù)通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度

• 一個 Cygnus 2 即可同時、單獨或以任何組合方式控制最多 6 個來源，無需使用兩個或三個控制器

• 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況

• 10 Hz 測量

• 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

• USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄

• 多個源厚度合計功能

• 測量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積最多 30 秒）

• 速率顯示分辨率可達 0.001?

• 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜

• 無沉積控制允許持續(xù)控制源，因為基片可以通過沉積室不斷循環(huán)

• 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控

• 可選以太網(wǎng)通信

• 符合 RoHS 標準