深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
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    MKS質(zhì)量流量計(jì)
    180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)

    如有疑問(wèn),請(qǐng)與我們聯(lián)系!服務(wù)熱線:0755-260289900755-26028990

    產(chǎn)品詳情

    180A ALTATM180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)的詳細(xì)資料:

    180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)全數(shù)字MKS ALTA質(zhì)量流量計(jì)在功能和性能上做了技術(shù)改進(jìn),幫助用戶在半導(dǎo)體行業(yè),真空鍍膜行業(yè)增加產(chǎn)量,降低系統(tǒng)成本,更好的與腔體匹配。ALTA改進(jìn)性能準(zhǔn)確度到1%。減少M(fèi)FMS庫(kù)存數(shù)量,ALTA代表MKS持續(xù)致力于幫助客戶提高生產(chǎn)效率,降低系統(tǒng)成本。

    180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)選型

    例如:180A00411CR36MXX選型

    前綴

    編碼

    180A Analog

    180A

    氣體選擇


    Helium, He

    001

    Argon, Ar

    004

    Hydrogen, H2

    007

    Nitrogen, N2

    013

    Oxygen, 02

    015

    流量選擇(最大30000 N2當(dāng)量)


    10

    11C

    20

    21C

    50

    51C

    100

    12C

    200

    22C

    500

    52C

    1000

    13C

    2000

    23C

    5000

    53C

    10000

    14C

    20000

    24C

    接口法蘭選擇(兼容)


    Swagelok? 4 VCR? male

    R

    1/4" Swagelok(兼容) Compression

    S

    C密封

    C

    W密封

    H

    閥門(mén)選擇


    沒(méi)有閥門(mén)

    3

    模擬接口


    9針“D”類型

    A

    15針“D”類型(MKS)

    B

    15針“D”類型(交替)

    E

    Profibus

    4

    DeviceNet

    6

    密封選擇


    金屬密封

    M

    版本-唯一總線適配器


    除了客戶指定,MKS公司將給當(dāng)前的版本

    XX

    可選配件


    ALTA數(shù)字軟件用戶界面工具包(單證)


    模擬量I/O版本,USB通信,USB端口鍵**

    1037539-001

    模擬量I/O版本,USB通信,并行端口**

    1037539-002

    模擬量I/O版本,RS-232通信,USB鍵**

    133730-G1

    模擬量I/O版本,RS-232通信,并行端口鍵**

    133730-G2

    USB端口的PC DeviceNet版本***

    133900-G1

    與PC機(jī)并行端口的DeviceNet版本***

    133900-G2

    更換USB端口鍵

    133897-G1

    更換并行端口鍵

    133897-G2

    180A接線方式


    使用USB電纜數(shù)字ALTA MFC轉(zhuǎn)換器組件

    模擬量I / O接口與PC機(jī)(包含在1037539套件內(nèi))

    1037538-001

    電纜使用MKS 246 / 247電子數(shù)字ALTA 15針D

    模擬量I/O接口(XX表示所需長(zhǎng)度,例如CB1480-1-10)

    CB1480-1-XX

    RS-232電腦延伸電纜10英尺(包含在133730套件內(nèi))

    095-103377

    RS-232電纜用于ALTA MFC模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器組件

    模擬量I/O接口與PC機(jī)(包含在133730套件內(nèi))

    134566-G1

    *附加氣碼,接觸應(yīng)用工程。

    *套件包括電腦轉(zhuǎn)換器組件的電纜和一個(gè)RS-232或USB延長(zhǎng)線

    ***客戶必須提供DeviceNet接口卡,硬件,和電纜