多氣體，多量程，彈性體密封的100至300slm質(zhì)量流量控制器

G系列GE250A和GE300A質(zhì)量流量控制器是通用的，彈性體密封的MFC，適用于多種應(yīng)用。GE250A的滿量程范圍為100到250 slm（相當于N ₂）。GE300A的滿量程范圍為150到300 slm（相當于N ₂）。利用最新的控制算法，對模擬I / O或數(shù)字I / O均可用，以快速，可重復(fù)地響應(yīng)設(shè)定值。

·        流速從100到300 slm

·        Viton，Buna，氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

·        多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet?，Profibus?，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

·        標準閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％

·        1-2秒建立時間