批次式（Batch type）設(shè)備的腔體形狀及尺寸不一，例如要求冷卻效果而設(shè)計(jì)的雙層腔體，為了提升產(chǎn)能而設(shè)計(jì)的雙門腔體，其他如真空度要求、成膜方式、制程氣體種類及基板材質(zhì)等都會(huì)影響真空腔體的設(shè)計(jì)，Htc日揚(yáng)科技可以配合客戶需求并提供相關(guān)參考經(jīng)驗(yàn)達(dá)到真空腔體設(shè)計(jì)的最佳化。

Htc日揚(yáng)科技制造的Batch type Chambers應(yīng)用在：液晶注入機(jī)、車燈鍍膜機(jī)、刀具鍍膜設(shè)備、矽晶長晶設(shè)備、電漿清洗設(shè)備、真空排氣系統(tǒng)、晶圓檢測(cè)設(shè)備、軟板制程傳輸設(shè)備、卷繞式鍍膜機(jī)、真空加熱設(shè)備及薄膜太陽能電池鍍膜設(shè)備

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