CrystalSix探頭（750-446-G1).pdf

INFICON750-446-G1 CrystalSix探頭的詳細(xì)資料：

INFICON CrystalSix 晶體對(duì)于要求連續(xù)監(jiān)控速率的長(zhǎng)時(shí)間過(guò)程非常重要。CrystalSix 傳感器在一個(gè)傳感器頭中含有 6 顆石英監(jiān)控器晶體，為 OLED、MBE、太陽(yáng)能、長(zhǎng)時(shí)間光學(xué)鍍膜或其他需要長(zhǎng)時(shí)間腔室排氣的過(guò)程提供安全性。與 INFICON 薄膜沉積監(jiān)控器結(jié)合使用時(shí)，CrystalSix 在當(dāng)前晶體失效或不穩(wěn)定的情況下，會(huì)自動(dòng)將新的晶體轉(zhuǎn)動(dòng)到適當(dāng)?shù)奈恢?。晶體更換是自動(dòng)完成的，不會(huì)中斷您的過(guò)程，支持持續(xù)監(jiān)控沉積速率。

 晶體索引通過(guò)氣動(dòng)機(jī)制完成。相比同類裝置使用的昂貴的真空發(fā)熱電機(jī)，這種氣動(dòng)馬達(dá)可提供更好的晶體熱穩(wěn)定性。一個(gè) 8 英寸的水冷卻管保持傳感器頭的熱穩(wěn)定性，并提供晶體位置的靈活性。

 與某些 INFICON 薄膜控制器結(jié)合使用時(shí)，傳感器提供位置反饋，因此可針對(duì)特定的材料安排特定的位置。

功能

• 裝有 6 顆晶體，可進(jìn)行可靠的自動(dòng)轉(zhuǎn)換，從而最大限度延長(zhǎng)過(guò)程運(yùn)行時(shí)間

• 晶體轉(zhuǎn)換由空氣驅(qū)動(dòng)完成（競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品是使用生熱電機(jī)），因而晶體溫度非常穩(wěn)定

• 1/8" 管保持熱穩(wěn)定性，并提供傳感器放置的靈活性

• 提供可選晶體閘