750-618-G1濺射傳感器.pdf

750-618-G1 INFICON濺射探頭

INFICON 濺射傳感器專為各種濺射過程而設(shè)計。鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管在濺射環(huán)境中可實現(xiàn)最佳冷卻效果。傳感器頭內(nèi)置的磁鐵可抑制因外部磁場偏轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng)中的高能自由電子而引起的過熱。后裝式晶體支架設(shè)計便于更換晶體，更換時無需從系統(tǒng)中拆卸傳感器頭。

功能

• 鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管可實現(xiàn)最佳冷卻效果

• 磁鐵可偏轉(zhuǎn)自由電子，使其遠離監(jiān)控器晶體

• 利用可彎曲的水管輕松安裝，靈活放置傳感器

• 后裝式晶體插入便于更換晶體