Crystal12探頭.pdf

XL12-INFICON Crystal 12探頭（傳感器）

自動晶體切換最大限度地延長生產(chǎn)時間
INFICON Crystal 12 傳感器與INFICON IC6 薄膜沉積控制器結(jié)合使用時，可自動更換其晶體，而無需中斷過程。晶體不穩(wěn)定或失效時，IC6 會立即向 Crystal 12 傳感器旋轉(zhuǎn)傳送帶發(fā)送信號，要求其立即將新晶體旋轉(zhuǎn)到位，從而實現(xiàn)持續(xù)沉積速率監(jiān)控。為進一步最小化停工時間，可以將晶體預(yù)先加載到另一個可選旋轉(zhuǎn)傳送帶上，這樣，可以直接輕松快速地更換裝有失效晶體的旋轉(zhuǎn)傳送帶，從而最大限度縮短系統(tǒng)打開的時間。

功能

• 裝有 12 顆晶體，可進行可靠的自動轉(zhuǎn)換，從而最大限度延長過程運行時間

• 易于拆卸的旋轉(zhuǎn)傳送帶允許快速更換所有 12 顆晶體

• 晶體轉(zhuǎn)換由空氣驅(qū)動完成（競爭產(chǎn)品是使用生熱電機），因而晶體溫度非常穩(wěn)定

• 易于拆卸的前沉積罩保護晶體和旋轉(zhuǎn)傳送帶上不會積存材料，從而最大限度減少拆卸整個傳感器以進行維護的必要性

• 可選安裝后套件允許用戶根據(jù)公制硬件大小自行修改