深圳市科銳詩汀科技有限公司
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    INFICON MDC-360C晶體膜厚控制儀

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    產(chǎn)品詳情

    MDC-360C晶體膜厚控制儀的詳細資料:


    主要特點:

         1)信息直觀——4色LCD大屏幕液晶顯示器,可實時顯示圖表及各種重要信息,并可以通過按鍵在圖表界面和狀態(tài)界面間隨時地進行切換。

         2)操作簡便——直觀的菜單模式,32種預置的材料數(shù)據(jù)庫以及alpha數(shù)字鍵區(qū),最大程度地方便了用戶的操作和使用。

         3)功能強大——最大可擴展到四路探頭輸入,儲存多達99種工藝過程,999種定義膜層和32種預置的材料數(shù)據(jù)庫。

         4)自動控制——自動切換晶片,當晶片失效時,自動暫停或中斷電源;恢復正常后,可連續(xù)運行,不需要從頭開始。

         5)個性設置——可修改純粹用數(shù)字和編碼命名的輸入/輸出信息、控制程序和材料名稱,使其易于辨認,避免混淆。

         6)安全可靠——人性化的聲音提示和報警系統(tǒng),音量大小可調節(jié)。

     

    主要技術參數(shù):

         頻率分辨率 0.03 Hz,在6.0 MHz基準頻率上

         質量分辨率 0.375 ng/cm2

         支持晶片頻率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz

         膜厚顯示 0.000~ 999.9 K埃

         成膜速率 00.0~999 Ang/sec (0~9.99μm/min)

         膜層數(shù)量 001~999

         圖形顯示 240×64 LCD ,CCFL背景源

    產(chǎn)品特點:膜厚控制儀的工作原理不同于膜厚監(jiān)測儀,它可以利用自身的閉環(huán)回路對鍍膜過程中膜料的沉積速率、膜層厚度進行實時的監(jiān)測和控制,以使鍍膜效果達到最佳狀態(tài)。MDC-360是基本型,具有安裝/調試方便、操作簡單、正面輸入、功能齊全等特點,并集中了多項為客戶提供便捷的設計成果,產(chǎn)品系列中以MDC-360C最具代表性,它融合了MDC-360和MDC-370兩種機型的優(yōu)點,目前也是口碑最佳,市場保有量最高的首選機型


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