MPG400.pdf

INFICON MPG400/401反磁控皮拉尼真空計INFICON (大氣壓至超高真空)

冷陰極和皮拉尼復合真空規(guī)

INFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規(guī)MPG400和MPG401, 測量范圍從5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性

MPG400的優(yōu)點：

復合真空規(guī) – 冷陰極與皮拉尼

寬的壓強測量范圍從5x10-9 毫巴至大氣壓

無可燒毀的燈絲

的引燃功能

易清洗

FPM 或金屬密封的饋入件

高壓加上時LED 指示燈亮

對數(shù)模擬輸出訊號

MPG400的應用：

高真空壓強監(jiān)測

蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強測量

一般真空測量和控制,從中至高真空范圍