CDG160D, CDG200D.pdf

INFICON CDG160D/CDG200D電容膜片真空計(jì)(1...1000乇/毫巴）

電容膜片真空計(jì)

Sky CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴

INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG160D 和 CDG200D 真空計(jì)溫度分別控制在160 °C 和 200 °C，具有zhuoyue的性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿(mǎn)刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類(lèi)型限制的對(duì)數(shù)壓力信號(hào)。INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)勢(shì)。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)zhuoyue，jiju成本效益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。

好處

• 更低的 CoO（擁有成本）、預(yù)熱速度提高 50%、節(jié)能低功耗

• 易于集成，各種滿(mǎn)量程、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)

• 簡(jiǎn)單的一個(gè)按鈕或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零命令，零點(diǎn)偏移可調(diào)

• 用于快速維修和維護(hù)的診斷端口

• 兩年保修，通過(guò)加熱概念和儀表保護(hù)延長(zhǎng)使用壽命

• 由于具有出色的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，因此無(wú)需長(zhǎng)期重新校準(zhǔn)，即使在惡劣的等離子體應(yīng)用中也是如此

• 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE，EN，UL，SEMI，RoHS

典型應(yīng)用

• 蝕刻、CVD、PVD等半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝

• 化學(xué)和腐蝕性高溫工藝

• 需要壓力表保護(hù)的一般薄膜和真空工藝